罗茨泵的真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的真空.为了提高泵的真空度,可将LC罗茨泵串联使用.罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似
.由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间内,再经排气口排出.由于吸气后空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀.
当转子顶部转过排气口边缘,空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间中去,使气体压强突然增高.当转子继续转动时,气体排出泵
外.罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动.在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保
持有_的间隙,可以实现高转速运行.
罗茨泵转子与泵壳之间的缝隙很小,仅为0.1mm左右,所以使罗茨泵有压缩比,其真空可进入0. 1 Pa,与机械泵组成机组作为高真空泵的前级泵,可以抑制机械泵的油返流.
当前级机械泵工作状况差时,不能将罗茨泵排出的气体及时抽走,会造成罗茨泵排气口压强过高,真空变差,此时转子受到的阻力增大,摩擦生热较高,容易使电机烧毁.为了避免这一现象,通常在罗茨泵中安装过载保护阀.当保护阀两边的压强差大于几千帕时,阀门打开,减轻转子的负载.